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进口HORIBA堀场 标准气体分配器设备
在整个流量范围内（上升、下降、设定值到设定值）响应时间为 100 毫秒或更短
自诊断多重诊断功能
改进的压力不敏感功能
高流量精度 (±0.8 %SP) 和重复性 (±0.15 %SP)
兼容环境温度范围广（15-60℃）
0.1 至 100% 的宽范围控制和低流量下的高精度
提供了过程优化和灵活性。
小于500毫秒的高速响应
级别，
尺寸仅为其他公司的 1/20，传感器截面尺寸仅为 5 厘米。非常适合整合到设备中
该传感器配备有由16根电极棒组成的9个四极杆部分，具有的结构，尽管其尺寸最小，但仍实现了高灵敏度。
低真空（高压）操作
当测量总压力高达 0.5 Pa（对于 2-65 m/z 传感器）时，无需准备额外的差压泵系统。
用户可更换的传感器
校准过滤器可以在现场轻松更换，无需拆卸设备。
一台安装了专用通信
软件的 PC 通过 RS-485 通信最多可以连接 8 台设备。它还具有适合设备集成的模拟输入/输出。
用户友好的 Micropole ScannerTM 2 软件是为专用软件QL-SG02 开发的，可实现 QL-SG02 的控制、数据采集、可视化和分析。
这是质量流量计专用的监控单元。
业务部门：半导体
产品类别：流体控制
制造商：HORIBA STEC, Co., Ltd.
特征
规格
流量报警输出功能 外部输出：集电极开路
流量信号输出：0~5VDC
流量显示输出功能
输入电源：AC100V~240V 50/60Hz 30VA MAX
尺寸：48(W) x 96(H) x 170(D)mm（不包括突出部分）
适用标准 安全标准：符合 CE 标志、符合 EMC 指令、符合 FCC 环境兼容性：符合 RoHS 指令
兼容数字/模拟通信模型
显示单元
这是一个以数字方式显示流量和压力信号（0 至 5VDC）的装置。
业务部门：半导体
产品类别：流体控制
制造商：HORIBA STEC, Co., Ltd.
| 适用气体 | CO、CO 2、C 3 H 8、NO、NO 2、SO 2、O 2 /N 2 (空气)等 |
|---|---|
| 气体接触材料 | 不锈钢氟橡胶 |
| 生成流量 | 2～5升/分钟 |
| 产生压力 | max70kPaG（根据出口负载而变化） |
| 混合比例 | 0,20,40,60,80,100%FS(注) |
| 混合精度 | ±0.5%满量程 |
| 重复性 | ±0.2%满量程 |
| 响应速度 | 10秒内 |
| 工作温度 | 0～40℃ |
| 耗气量 | 与生成流量相同 |
| 燃气连接 | 外径ø6/内径ø4铁氟龙管件 |
| 重量 | 约2公斤 |
| 电源 | 不必要 |
| 适用气体 | CO、CO 2、C 3 H 8、NO、NO 2、SO 2、O 2 /N 2 (空气)等 |
|---|---|
| 气体接触材料 | 不锈钢氟橡胶 |
| 生成流量 | 0.2～0.5L/分钟 |
| 产生压力 | max70kPaG（根据出口负载而变化） |
| 混合比例 | 0,20,40,60,80,100%FS(注) |
| 混合精度 | ±0.5%满量程 |
| 重复性 | ±0.2%满量程 |
| 响应速度 | 10秒内 |
| 工作温度 | 0～40℃ |
| 耗气量 | 与生成流量相同 |
| 燃气连接 | 外径ø6/内径ø4铁氟龙管件 |
| 重量 | 约2公斤 |
| 电源 | 不必要 |
| 适用气体 | CO、CO 2、C 3 H 8、NO、NO 2、SO 2、O 2 /N 2 (空气)等 |
|---|---|
| 生成流量 | 2-5L/min（取决于入口压力） |
| 产生压力 | max70kPaG（根据出口负载而变化） |
| 集中划分 | 0,10,20,30,40,50,60,70,80,90,100%FS(注) |
| 分度精度 | ±0.5%满量程 |
| 重复性 | 0.2%满量程 |
| 拆分操作 | 手动的 |
| 响应速度 | 10秒内 |
| 耗气量 | 与生成流量相同 |
| 外形尺寸 | 宽150×高163×深145（宽200×高195×深175） |
| 重量 | 3.5公斤(5.5公斤) |
| 电源 | 不必要 |
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